證券時(shí)報(bào)記者 孫憲超

半導(dǎo)體行業(yè)遵循“一代技術(shù)、一代工藝、一代設(shè)備”的規(guī)律，半導(dǎo)體設(shè)備是行業(yè)延續(xù)“摩爾定律”的瓶頸和關(guān)鍵。半導(dǎo)體設(shè)備的升級(jí)迭代，很大程度上有賴于精密零部件技術(shù)首先突破；半導(dǎo)體設(shè)備的交付，很大程度上取決于精密零部件的供應(yīng)能力。

精密零部件是半導(dǎo)體設(shè)備制造環(huán)節(jié)中難度較大、技術(shù)含量較高的環(huán)節(jié)之一，也是國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)被“卡脖子”的環(huán)節(jié)之一。富創(chuàng)精密(688409)是科創(chuàng)板首家專注于半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件的上市公司，近年來攻克了諸多零部件精密制造的尖端技術(shù)，尤其在表面處理特種工藝技術(shù)方面已達(dá)到國際領(lǐng)先水平，解決了一系列“卡脖子”難題，對(duì)于保障半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)化供應(yīng)鏈配套安全，起到了積極作用。

解決“卡脖子”難題

富創(chuàng)精密是國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件的領(lǐng)軍企業(yè)，主要產(chǎn)品包括工藝零部件、結(jié)構(gòu)零部件、模組產(chǎn)品和氣體管路，覆蓋集成電路制造中光刻、刻蝕、薄膜沉積、光刻及涂膠顯影、化學(xué)機(jī)械拋光、離子注入等核心環(huán)節(jié)設(shè)備，公司是全球?yàn)閿?shù)不多的能夠?yàn)?納米工藝制程半導(dǎo)體設(shè)備批量提供精密零部件的廠商。

“公司自2008年成立以來，立足國家集成電路發(fā)展戰(zhàn)略，持續(xù)深耕集成電路設(shè)備金屬零部件精密制造、表面處理、特種焊接等工藝所需前沿性技術(shù)和共性技術(shù)研發(fā)，解決制約我國集成電路裝備零部件產(chǎn)業(yè)‘卡脖子’的共性關(guān)鍵技術(shù)難題?！备粍?chuàng)精密董事長鄭廣文告訴證券時(shí)報(bào)記者。

據(jù)介紹，富創(chuàng)精密是國家“02重大專項(xiàng)”及國家智能制造新模式應(yīng)用項(xiàng)目承擔(dān)單位、國家企業(yè)技術(shù)中心、國家工程研究中心依托單位。2011年和2014年，富創(chuàng)精密相繼牽頭承擔(dān)了兩期國家“02重大專項(xiàng)”，并已順利通過驗(yàn)收。

通過國家“02重大專項(xiàng)”的支持，富創(chuàng)精密攻克了零部件精密制造的尖端技術(shù)和特種工藝，解決了一系列“卡脖子”難題，實(shí)現(xiàn)了腔體、內(nèi)襯、勻氣盤等半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件國產(chǎn)化的自主可控，補(bǔ)戰(zhàn)略短板，補(bǔ)需求短板。

富創(chuàng)精密于2017年承擔(dān)了國家智能制造新模式應(yīng)用項(xiàng)目之“集成電路裝備零部件柔性數(shù)字化車間建設(shè)——多品種、小批量智能制造新模式應(yīng)用”，建成了集成電路關(guān)鍵設(shè)備零部件柔性數(shù)字化車間，并順利通過項(xiàng)目驗(yàn)收。借助該項(xiàng)目的實(shí)施，公司開創(chuàng)了集成電路領(lǐng)域智能制造的新模式，不但降低了對(duì)人工經(jīng)驗(yàn)的依賴，同時(shí)實(shí)現(xiàn)了柔性化生產(chǎn)與工藝的整合，利用數(shù)字化仿真、大數(shù)據(jù)分析、協(xié)同與集成等智能化手段，保證了產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定與生產(chǎn)效率的提高。

2022年2月，公司的“離散型工藝數(shù)字化設(shè)計(jì)”項(xiàng)目入選工信部、國家發(fā)改委等部門公布的《2021年度智能制造優(yōu)秀場景名單》。

“經(jīng)過10多年的技術(shù)積累和沉淀，公司產(chǎn)品具備高精密、高潔凈、高耐腐蝕、耐擊穿電壓等性能，生產(chǎn)過程涵蓋精密機(jī)械制造、工程材料、表面處理科學(xué)、電化學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域和學(xué)科?！编崗V文說，目前，公司已進(jìn)入北方華創(chuàng)、中微公司、華海清科、HITACHIHigh-Tech等國內(nèi)外半導(dǎo)體設(shè)備龍頭廠商的供應(yīng)商體系，參與全球競爭。同時(shí)，形成了服務(wù)國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的能力，保障了我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈的安全。

持續(xù)加大研發(fā)投入

鄭廣文表示，技術(shù)創(chuàng)新是富創(chuàng)精密取得競爭優(yōu)勢的關(guān)鍵，圍繞國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略，公司持續(xù)加大研發(fā)技術(shù)創(chuàng)新，深入了解客戶需求和市場趨勢，與客戶共同開發(fā)創(chuàng)新產(chǎn)品和解決方案，以便對(duì)客戶的需求做出快速準(zhǔn)確的反應(yīng)。

同時(shí)，富創(chuàng)精密建立了長效務(wù)實(shí)且全面深入的產(chǎn)學(xué)研聯(lián)合機(jī)制、創(chuàng)新運(yùn)行機(jī)制，吸引和整合國內(nèi)外相關(guān)研發(fā)資源，凝聚培養(yǎng)創(chuàng)新型人才團(tuán)隊(duì)，構(gòu)建“大學(xué)+研究所+企業(yè)”協(xié)同創(chuàng)新網(wǎng)絡(luò)，先后與中國科學(xué)院金屬研究所、中國科學(xué)院沈陽自動(dòng)化研究所、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、大連理工大學(xué)、東北大學(xué)等國內(nèi)知名科研院校，開展了一系列工藝研發(fā)協(xié)同攻關(guān)合作。

據(jù)了解，富創(chuàng)精密每年投入大量經(jīng)費(fèi)進(jìn)行技術(shù)研發(fā)、工藝優(yōu)化和新產(chǎn)品開發(fā)，研發(fā)費(fèi)用逐年遞增。2021年，公司研發(fā)投入0.74億元，占營業(yè)收入比例為8.8%；2022年，公司研發(fā)投入1.22億元，占營業(yè)收入比例為7.89%；2023年，公司研發(fā)投入2.06億元，占營業(yè)收入比例為9.97%。

“未來，富創(chuàng)精密將繼續(xù)加大研發(fā)投入，加快開展技術(shù)攻關(guān)及新產(chǎn)品成果產(chǎn)業(yè)化，保障國產(chǎn)化供應(yīng)鏈配套安全?！编崗V文表示。隨著半導(dǎo)體制造工藝向更先進(jìn)制程發(fā)展，對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的精度、潔凈度、耐腐蝕性能、一致性等提出了更高要求。對(duì)此，公司需要加大研發(fā)投入和技術(shù)儲(chǔ)備，開展更先進(jìn)工藝制程的集成電路裝備零部件技術(shù)研發(fā)，解決我國集成電路裝備零部件產(chǎn)業(yè)“卡脖子”技術(shù)難題，打破國外技術(shù)封鎖，填補(bǔ)國內(nèi)空白。

提供“一站式”解決方案

SEMI（國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)）和SEAJ（日本半導(dǎo)體制造設(shè)備協(xié)會(huì)）聯(lián)合發(fā)布的最新報(bào)告顯示，全球半導(dǎo)體（芯片）制造設(shè)備市場在2024年前三個(gè)月陷入萎縮，但中國內(nèi)地市場表現(xiàn)搶眼，連續(xù)第四個(gè)季度成為全球最大的芯片設(shè)備市場。這不僅彰顯了中國內(nèi)地半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的強(qiáng)勁發(fā)展勢頭，也體現(xiàn)了內(nèi)地市場對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的持續(xù)旺盛需求。

“總體來看，全球半導(dǎo)體制造設(shè)備市場雖然出現(xiàn)波動(dòng)，但中國內(nèi)地市場的強(qiáng)勁增長為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)帶來了新的希望和機(jī)遇。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和市場的不斷擴(kuò)大，全球半導(dǎo)體制造設(shè)備市場將迎來更加廣闊的發(fā)展前景。在行業(yè)發(fā)展及國產(chǎn)替代雙輪驅(qū)動(dòng)下，國內(nèi)半導(dǎo)體零部件行業(yè)將迎來更廣闊的發(fā)展空間?！编崗V文認(rèn)為。

據(jù)鄭廣文介紹，精密零部件的技術(shù)突破對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備升級(jí)迭代具有十分重要的意義?！伴_放、鏈接、共享”是產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同的關(guān)鍵，通過核心零部件的國產(chǎn)化、定制化供應(yīng)，滿足整機(jī)企業(yè)零部件配套需求，支撐整機(jī)企業(yè)研發(fā)、縮短產(chǎn)品周期、降低企業(yè)成本，顯著提升整機(jī)企業(yè)綜合競爭力。

同時(shí)，通過商業(yè)生態(tài)系統(tǒng)的建立，形成一個(gè)零部件制造的集成平臺(tái)，帶動(dòng)刀具、機(jī)床、材料、焊接、包裝等幾十種乃至上百種周邊性輔助產(chǎn)業(yè)發(fā)展，輔助產(chǎn)業(yè)的發(fā)展也將帶來大量就業(yè)崗位。推動(dòng)供應(yīng)鏈的數(shù)字化、智能化升級(jí)，可以提升產(chǎn)業(yè)鏈的協(xié)同效率，進(jìn)而帶動(dòng)鏈接的企業(yè)實(shí)現(xiàn)快速提升。

“從目前的情況看，全球半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件行業(yè)集中度較低，資本投入和技術(shù)門檻較高，同行業(yè)企業(yè)往往僅具備一道或兩道核心工藝能力，需多家協(xié)同方能為設(shè)備廠商提供最終成品精密零部件?！编崗V文說，富創(chuàng)精密具備精密機(jī)械制造、表面處理特種工藝、焊接、組裝以及檢測在內(nèi)的多種生產(chǎn)工藝和產(chǎn)能，工藝完備性在全球行業(yè)內(nèi)少有，且相應(yīng)工藝已獲得國際龍頭半導(dǎo)體設(shè)備廠商認(rèn)證。

據(jù)悉，公司制造工藝的完備性不僅能為客戶節(jié)省中間成本，還能更好把控產(chǎn)品潔凈度和參數(shù)的一致性，保證產(chǎn)品質(zhì)量。

目前，公司已進(jìn)入的客戶供應(yīng)鏈體系既包括國際知名半導(dǎo)體龍頭設(shè)備商，也包括國內(nèi)主流半導(dǎo)體設(shè)備廠商。由于半導(dǎo)體設(shè)備廠商對(duì)所選用的精密零部件要求極為苛刻，一旦確定合作關(guān)系往往長期深度綁定；一旦通過全球主流設(shè)備廠家認(rèn)證，行業(yè)內(nèi)其他廠家會(huì)相繼跟進(jìn)與其開展合作。

積極布局海內(nèi)外產(chǎn)能

根據(jù)SEMI預(yù)測，半導(dǎo)體制造設(shè)備全球總銷售額在2024年將達(dá)到1090億美元，創(chuàng)下新的行業(yè)紀(jì)錄，2025年也將持續(xù)增長。行業(yè)增長為富創(chuàng)精密海內(nèi)外市場帶來更大的發(fā)展空間。

目前，富創(chuàng)精密積極布局海內(nèi)外產(chǎn)能建設(shè)，國內(nèi)目前布局了沈陽、南通、北京三個(gè)工廠，三個(gè)工廠達(dá)產(chǎn)后，產(chǎn)能預(yù)計(jì)在70億元左右。

“沈陽工廠作為公司主要生產(chǎn)經(jīng)營地，產(chǎn)能已接近飽和?；谝钥蛻魹橹行牡姆?wù)理念及公司戰(zhàn)略布局的推進(jìn)，公司在國內(nèi)向長三角、京津冀地區(qū)進(jìn)行產(chǎn)能布局，在海外新加坡、美國陸續(xù)建廠、持續(xù)擴(kuò)張以應(yīng)對(duì)高速增長的零部件市場需求?！编崗V文表示。

據(jù)介紹，基于零部件市場的增長需求，富創(chuàng)精密在南通市通州區(qū)新建廠房，總用地面積約171畝，并購置精密機(jī)械加工、表面處理、焊接、組裝等全工藝配套設(shè)備，打造公司華東地區(qū)半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件全工藝智能生產(chǎn)基地。

另外，為加強(qiáng)與北方華創(chuàng)等國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商合作，富創(chuàng)精密還在北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)新建廠房，并購置精密機(jī)械加工、表面處理、焊接、組裝等全工藝配套設(shè)備，打造公司華北地區(qū)半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件全工藝智能生產(chǎn)基地。

2023年，富創(chuàng)精密先后在新加坡和美國設(shè)立全資子公司。

對(duì)此，鄭廣文表示，公司于2011年成為海外大客戶的合格供應(yīng)商，10余年來一直保持穩(wěn)定友好的合作關(guān)系，雙方也在不斷完善中長期合作發(fā)展戰(zhàn)略。公司設(shè)立境外全資子公司是基于公司未來發(fā)展規(guī)劃的考慮，能夠促進(jìn)公司發(fā)展戰(zhàn)略的實(shí)施，進(jìn)一步擴(kuò)大境外業(yè)務(wù)規(guī)模，增強(qiáng)公司盈利能力，提升公司的綜合競爭力。

新加坡作為亞洲知名的金融與科技中心，受到外資半導(dǎo)體企業(yè)的看好，并在近年來加大了投資力度，諸多大型芯片廠商也正采取行動(dòng)，在新加坡加碼投資、增加產(chǎn)能。目前新加坡已具備從芯片設(shè)計(jì)、制造、封裝、測試到設(shè)備、材料、分銷等各個(gè)環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體完整產(chǎn)業(yè)鏈。

“新加坡子公司的設(shè)立將有利于帶動(dòng)公司整體發(fā)展，增加公司的業(yè)務(wù)輻射范圍，與公司現(xiàn)有產(chǎn)品產(chǎn)生協(xié)同效應(yīng)，提高公司市場競爭優(yōu)勢，有助于公司的長遠(yuǎn)發(fā)展?！编崗V文說，設(shè)立美國子公司有利于進(jìn)一步擴(kuò)大公司國際業(yè)務(wù)規(guī)模，拓寬公司產(chǎn)品線，保持技術(shù)領(lǐng)先性，增強(qiáng)公司盈利水平，深化公司與國際客戶之間的黏性，提高全球供應(yīng)鏈采購能力，有效提升國際市場占有率及公司整體抗風(fēng)險(xiǎn)能力。