截至11月11日收盤，光刻機概念上漲6.31%，位居概念板塊漲幅第5，板塊內，31股上漲，騰景科技20%漲停，凱美特氣、東方嘉盛、電科數(shù)字等漲停，旭光電子、芯碁微裝、藍英裝備等漲幅居前，分別上漲9.46%、9.22%、7.57%。

今日漲跌幅居前的概念板塊

資金面上看，今日光刻機概念板塊獲主力資金凈流入6.25億元，其中，20股獲主力資金凈流入，7股主力資金凈流入超5000萬元，凈流入資金居首的是張江高科，今日主力資金凈流入5.04億元，凈流入資金居前的還有晶方科技、大族激光、電科數(shù)字等，主力資金分別凈流入3.54億元、1.66億元、1.18億元。

資金流入比率方面，晶方科技、凱美特氣、電科數(shù)字等流入比率居前，主力資金凈流入率分別為27.06%、19.54%、9.59%。（數(shù)據(jù)寶）

光刻機概念資金流入榜